امروز، دیگر زمینههای کاربردی مفید غشاهای صفحه-کاربید سیلیکون را به اشتراک خواهیم گذاشت. غشاهای ورق مسطح کاربید سیلیکون همراه با فرآیندهای لجن فعال در MBR ها سناریوهای عملیاتی با شار کم را نشان می دهند (شار طراحی 25 تا 60 LMH، شیرابه محل دفن زباله 25 LMH، فاضلاب خانگی 60 LMH). برعکس، غشاهای ورقهای مسطح کاربید سیلیکون نیز سناریوهای عملیاتی با شار بالا بسیار سودمندی دارند (شار طراحی 150 تا 1000 LMH).
در مقایسه با سناریوهای عملیاتی-شار کم، غشاهای صفحه تخت-کاربید سیلیکون قطعاً در سناریوهای عملکرد با شار زیاد{2}}مقرون به صرفهتر هستند.
امروز، ما بر روی کاربرد غشاهای تخت-کاربید سیلیکون در فاضلاب با کدورت بالا-در صنعت نیمه هادی تمرکز خواهیم کرد.
منابع اصلی فاضلاب با کدورت بالا در صنعت نیمه هادی عبارتند از:
1. تمیز کردن فاضلاب پس از آسیاب کردن و خرد کردن ویفر (نازک کردن قسمت پشتی برای کاهش ضخامت ویفر، خرد کردن ویفرها به شکل چیپس)
2. تمیز کردن فاضلاب پس از پلاناریزاسیون
فن آوری مسطح سازی در صنعت نیمه هادی CMP (Chemical Mechanical Polishing) نامیده می شود. اصل اساسی CMP (صیقل کاری مداوم) چرخاندن یک ویفر نسبت به یک پد پولیش در حضور دوغاب ساینده (مانند محلول KOH حاوی ذرات معلق SiO2 کلوئیدی) در حین اعمال فشار است، بنابراین پولیش از طریق آسیاب مکانیکی و حکاکی شیمیایی انجام می شود. این فناوری بدون شک از مسطح سازی دی الکتریک های بین لایه ای (ILD)، عایق ها، هادی ها، فلزات جاسازی شده (W, Al, Cu, Au)، پلی سیلیکون و کانال های اکسید سیلیکون در صنعت نیمه هادی تا زمینه های پردازش سطحی مانند سیستم های نازک{{3}فیلم (سیستم های ذخیره سازی میکروفیلم مغناطیسی MS) سر، ساینده های مکانیکی، شیرهای دقیق، شیشه های نوری و مواد فلزی.
ویژگیهای فاضلاب با کدورت بالا از صنعت نیمهرسانا به شرح زیر است:
1. کدورت بالا، در درجه اول به دلیل غلظت بالای ذرات ریز.
2. هدایت کم و TOC کم.
3. فاضلاب CMP خاصیت اکسید کننده دارد.
از منظر رسوب غشایی، عامل رسوب به سادگی غلظت بالای ذرات ریز است. روش های تمیز کردن فیزیکی برای بازسازی شار غشا بسیار موثر هستند. رسانایی کم و TOC پایین به معنای تمایل کم برای رسوب گیری و رسوب گیری آلی است که در نتیجه سیکل های تمیز کردن شیمیایی طولانی می شود.
این یک سناریوی کاربردی ایده آل برای فناوری جداسازی غشا است! اساساً برای عملیات فیلتراسیون اولیه طراحی شده است!
غلظت بالای ذرات ریز به این معنی است که سرعت جریان بالا در سطح غشاء خطر مستمر سایش مکانیکی لایه جداکننده غشا را به همراه دارد.
مزایای فناوری اولترافیلتراسیون غوطه ور با استفاده از غشاهای صفحه تخت کاربید سیلیکون برای فاضلاب با کدورت بالا در صنعت نیمه هادی:
1. شار بالا: شار غشایی بزرگتر یا مساوی 300 LMH، هزینه سرمایه گذاری کم.
2. مصرف کم انرژی: هزینه عملیات و نگهداری کم.
3. نرخ بازیابی بالا (تا بیش از یا برابر با 95٪)، در مقایسه با 75٪ تا 85٪ برای غشاهای آلی.